停止为机器本身加热，而是将热量直接传递到晶圆上吧。 红外灯的缺点在于：它们会向各个方向散发热量。如果没有反射器的话，一半的能量会直接逸散掉，从而加热设备的机壳和内壁。在半导体制造设备中，这种情况简直就是一场灾难——过高的温度不仅可能伤害人员，还会导致工艺温度出现波动，而工艺温度本应保持稳定。 因此...

为什么我们在晶圆固化过程中放弃热风加热，转而使用红外反射器？ 如果您从事过半导体加工工作，就应该知道热风循环加热的弊端。这种方式的效率极其低下——实际上，我们是在让一整个空间的空气变热，只为让少量热量传递到小小的晶圆上。这就好比试图先加热车道来为房子供暖一样。 正因如此，我们才转向使用红外线加热。...

为何我们使用带黄金反射器的红外线固化器 在半导体行业中，人们一直致力于实现“无铅”和零排放的工艺。从理论上来说，这确实很理想，但传统的对流式烤箱却无法满足这一要求。因为它们需要大量能量来加热炉内的空气，而非直接加热被加工的部件。 因此，我们转而使用带有黄金反射器的红外线灯。这样一来，热量就可以直接...