금색 반사체가 장착된 적외선 전구
왜 적외선 경화 공정에 금 반사체를 사용하는가?
반도체 산업에서는 “무납” 및 “무배출” 시스템을 도입하려는 노력이 활발합니다. 이론상으로는 훌륭해 보이지만, 기존의 대류식 오븐들은 그러한 요구 사항을 충족시키지 못합니다. 이러한 오븐들은 실제로 부품을 가열하는 대신...
고속 반응 적외선 히터 전구
웨이퍼 플로어에서는 시간이 초 단위이고, 온도 편차는 수율 저하로 이어질 수 있는 상황이다. 포토레지스트 공정에서 소프트 베이크는 용매를 제거하고 필름 균일성을 결정하며; 하드 베이크는 식각을 견뎌내야 하는 가교 결합을 고정한다. 열원이 설정 온도에 즉시 도달하고 웨...