웨이퍼 처리 장치에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 대부분의 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 웨이퍼를 가열할 때는 그 에너지가 웨이퍼에 직접 도달해야 합니다. 결코 값비싼 기계의 내벽에 열이 전달되는 것을 원하지 않습니다. 만약...

왜 웨이퍼 히터의 절연 성능을 꼼꼼하게 테스트해야 하는가? 우리가 만드는 웨이퍼 히터는 매우 높은 효율성을 요구하면서도 엄격한 열 관련 기준을 충족해야 합니다. 문제는, 고출력을 작은 공간에 집어넣으려 할 때 오차의 여지가 전혀 없다는 것입니다. 절연체에 아주 작은...

왜 웨이퍼 경화 과정에서 뜨거운 공기 대신 적외선 반사체를 사용하는가? 半導体 제조 과정에 종사해본 사람이라면 뜨거운 공기를 이용하는 방식의 문제점을 잘 알고 있을 것입니다. 이 방식은 매우 느립니다. 엄청난 양의 공기를 가열해야만 작은 웨이퍼에 열이 전달됩니다. 마...

와이어 처리 과정에서는 모든 와트의 에너지가 제 역할을 해야 합니다. 기존의 방식인 표준 온도 센서를 사용할 경우, 엄청난 양의 열이 공기 중으로 낭비됩니다. 이는 큰 낭비입니다. 그래서 우리는 금으로 된 코팅이 적용된 온도 센서를 만들었습니다. 이 센서는 열을 다시...

웨이퍼가 세척 공정을 거친 후 나오는 모습을 보세요. 물자국이 있어서는 안 됩니다. 포토레지스트는 급격한 온도 변화를 견딜 수 없습니다. 건조기가 적절한 온도를 유지하지 못하면, 제품의 품질이 떨어지게 되고, 재작업이 필요해지며, 결국 해당 로트는 폐기되어야 합니다....

팹 내부에서는 청소 후에 남아 있는 수분이 단순한 성가신 문제가 아닙니다. 이 수분은 소프트 베이킹 과정에서 포토레지스트에 스며들어 제품의 치수를 변화시키고, 그 결과 생산 효율이 저하됩니다. 웨이퍼의 수분을 제거하는 램프는 이러한 문제를 직접 해결해줍니다. 즉, 리...

생산 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 매우 중요합니다. 온도 변동이 10ms만 있어도, 히터와 웨이퍼 사이의 정렬 오차가 1mm만 있어도 패턴이 망가지거나 가장자리에 결함이 생길 수 있습니다. 웨이퍼를 가열할 때 유지해야 하는 안전 거리는 단순한 편안한 공간...

fab 라인에서는 2인치 사파이어 웨이퍼가 리소그래피 트랙 아래에 놓여 소프트 베이크를 기다리고 있다. 표면 전체에 110°C가 도달해야 하며, 단지 열전대가 측정하는 부분만이 아니다. 온도가 낮으면 포토레지스트 프로파일이 변형되고, 너무 높이면 열 예산을 초과하게...