진공 챔버용 적외선 히터

열 낭비를 막아라: 왜 금 코팅된 IR 장치가 효과적인가? 진공 챔버 내에서 작업할 때는 물리 법칙과 싸워야 합니다. 공기가 없어서 열이 이동할 수 없으므로, 오직 복사 에너지에만 의존해야 합니다. 만약 실리콘 웨이퍼를 가열하는 동안 그 에너지가 챔버 벽으로 새어나간...