공장 건조 공정의 에너지 감사
공장 내 이산화탄소 배출량 줄이기: 왜 적외선 가열이 효과적인가?
솔직히 말해서, 많은 공장들은 여전히 구식의 대류식 오븐이나 기존의 가열 장치를 사용하여 웨이퍼를 건조시키고 있습니다. 이것이 지금까지 사용되어 온 방식입니다. 하지만 문제는 이러한 시스템들이 엄청난...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
웨이퍼가 세척 공정을 거친 후 나오는 모습을 보세요. 물자국이 있어서는 안 됩니다. 포토레지스트는 급격한 온도 변화를 견딜 수 없습니다. 건조기가 적절한 온도를 유지하지 못하면, 제품의 품질이 떨어지게 되고, 재작업이 필요해지며, 결국 해당 로트는 폐기되어야 합니다....
포토레지스트 건조용 적외선 모듈
리소그래피 공정에서, 소프트 베이크 과정에서 발생하는 0.5도 정도의 온도 변동은 “허용 가능한 범위”가 아닙니다. 이는 폐기해야 할 웨이퍼입니다. 포토레지스트의 건조 과정은 온도 조절에 달려 있으며, 적외선 모듈은 수율을 결정하는 핵심 요소입니다.
실제로 중요한 것...
의류 건조기
모든 히터에 대해 무조건적인 번인 테스트를 하는 이유 생산 라인을 운영할 때, 하나의 램프 고장이 단순한 지연이 아니라 모든 공정을 멈추게 합니다. 이를 잘 이해하고 있기 때문에, 출고 전 모든 히터는 전력 최대치에서 번인 테스트를 반드시 거칩니다.
이는 형식적인 절...