고속 반응 적외선 히터 전구

웨이퍼 플로어에서는 시간이 초 단위이고, 온도 편차는 수율 저하로 이어질 수 있는 상황이다. 포토레지스트 공정에서 소프트 베이크는 용매를 제거하고 필름 균일성을 결정하며; 하드 베이크는 식각을 견뎌내야 하는 가교 결합을 고정한다. 열원이 설정 온도에 즉시 도달하고 웨...