Leybold 진공 히터 부품

Role 웨이퍼 플로어에서 포토레지스트 베이크는 단순한 베이크가 아니라 열에너지 예산이다. 필드 전체에서 0.5도 변화만 있어도 중요 치수가 움직일 수 있으며, 재현되지 않는 열 프로파일은 수율을 빠르게 저하시키는 원인이 된다. Leybold 진공 히터가 성능 저하를...