포토레지스트 스트리핑 지원 히터

리소그래피 라인에서 포토레지스트 스트리핑 중 서포트 히터가 내려가면 라인이 즉시 멈춥니다. 웨이퍼는 잔류물과 함께 쌓이기 시작하고, 스크랩이 증가하며, 스케줄러는 갑자기 난처한 상황에 처합니다. 열 제어가 문제를 일으키지 않아야 합니다. 기술적으로 중요한 점 당사의...