스핀 코터 베이크 램프

리소그래피 작업장에서 베이크 온도가 0.5도만 벗어나도 전체 웨이퍼 로트를 폐기할 수 있다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 가열 사이클이 아니라 치수 제어 수단이다. 램프가 웨이퍼 전체에 걸쳐 설정 온도를 유지하지 못하면 CD 균일성이 무너지고 수율에도 직격탄...