폴리이미드 베이크 적외선 램프

라인에서는 시간이 누구도 기다려주지 않는다. 300 mm 웨이퍼가 코팅에서 소프트 베이크를 거쳐 노광으로 흐르며, 초기에 설정한 열 예산은 CD 균일성, 사이드월 각도 그리고 궁극적으로 수율에 대한 규칙을 정한다. 베이크 램프가 드리프트를 시작하거나, 필드에 핫스폿을...