웨이퍼 수분 제거 램프

팹 내부에서는 청소 후에 남아 있는 수분이 단순한 성가신 문제가 아닙니다. 이 수분은 소프트 베이킹 과정에서 포토레지스트에 스며들어 제품의 치수를 변화시키고, 그 결과 생산 효율이 저하됩니다. 웨이퍼의 수분을 제거하는 램프는 이러한 문제를 직접 해결해줍니다. 즉, 리...