포토레지스트 건조용 적외선 모듈

리소그래피 공정에서, 소프트 베이크 과정에서 발생하는 0.5도 정도의 온도 변동은 “허용 가능한 범위”가 아닙니다. 이는 폐기해야 할 웨이퍼입니다. 포토레지스트의 건조 과정은 온도 조절에 달려 있으며, 적외선 모듈은 수율을 결정하는 핵심 요소입니다. 실제로 중요한 것...