단 한 개의 조명管만 고장 나도 전체 생산량이 망가질 수 있습니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 예를 들어, 적외선 조명管이 큰 부하로 인해 파손되면, 웨이퍼들은 유리 조각과 할로겐 잔여물로 뒤덮이게 됩니다. 그러면 전체 생산량이 폐기되는 것입니다. 우리도 그런 경...

바이오센서 제작 시 적절한 온도 조절이 매우 중요합니다. 폴리머가 굳는 과정과 생물학적 활성층의 형성에 있어서 정확한 온도가 필요합니다. 그렇지 않으면 모든 것이 실패로 돌아갑니다. 오랫동안 사람들은 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 하지만 스마트 팩토리에서는 이런 방식...

왜 바이오센서와 칩에 적외선 경화 방식을 사용하는가? 바이오센서를 제작할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 폴리머나 시약들을 경화시키기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 너무 많은 열을 가하면 기판이 손상되어 전체 제품이 망가집니다. 그래서 우리는 단파 적외선 램프를...

기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 가열하세요. IR 램프의 문제점은 바로 그 ‘지저분함’입니다. 이 램프들은 모든 방향으로 광선을 방출합니다. 반사판이 없다면 에너지의 절반은 그대로 역방향으로 흘러가서 장비의 몸체나 내부 벽을 손상시킵니다. 반도체 제조 장비에서는 이것이...

열에 에너지를 낭비하지 마세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 처리하는 방법 솔직히 말해서, 반도체 제조 공장들은 엄청난 양의 에너지를 소비합니다. 그 에너지가 어디로 가는지 살펴보면, 상당 부분이 단순히 열로 낭비됩니다. 수년 동안 사용되어 온 방식은 대형 대류 오븐을 이...

더 이상 오븐을 기다리지 마세요: 클린룸에서 열풍 대신 적외선이 더 효과적인 이유 반도체 가공 작업을 해본 사람이라면 기다리는 시간이 얼마나 지루한지 잘 알 것입니다. 그저 뜨거운 공기가 나오는 장치 앞에 서서 온도가 안정될 때까지 기다려야 합니다. 이건 정말 힘든...

왜 웨이퍼 경화 과정에서 뜨거운 공기 대신 적외선 반사체를 사용하는가? 半導体 제조 과정에 종사해본 사람이라면 뜨거운 공기를 이용하는 방식의 문제점을 잘 알고 있을 것입니다. 이 방식은 매우 느립니다. 엄청난 양의 공기를 가열해야만 작은 웨이퍼에 열이 전달됩니다. 마...

왜 반도체 제조 공장에서는 석영 유리 보호막이 필요한가? 반도체 제조 공장에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 약간의 온도 변화만 있어도 값비싼 웨이퍼들이 폐기물이 되고 맙니다. 우리는 빠른 경화 및 건조를 위해 적외선 히팅 램프를 사용하지만, 그 램프들을 그냥 방치할...

생물센서를 제작할 때는 매우 섬세한 유기물층을 다루어야 합니다. 온도를 조절하는 데 실수가 생기면 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는 단파 적외선을 사용합니다. 클린룸에서는 공기 전체를 가열하는 것이 오염의 원인이 되므로, 적외선은 열을 직접 기판에 전달...

왜 금 코팅된 적외선 램프가 공장에 있어서 중요한지 스마트 공장을 구축할 때, 열 관리는 항상 어려운 문제입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 석영 램프를 사용하지만, 문제는 그 램프들이 열을 여기저기 퍼뜨린다는 것입니다. 이로 인해 에너지가 낭비되고, 오히려 차갑게...

휘발성 화학물질을 사용할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 인화성 증기나 부식성 액체가 있는 곳에서 적외선 히터를 사용하는 것은 마치 불을 가지고 노는 것과 같습니다. 만약 그런 곳에서 일반적인 전구를 사용한다면, 그건 재앙을 부르는 행위입니다. 작은 스파크나...

왜 반도체 제조에 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용하는가? 반도체 산업은 ‘친환경적이고 납이 없는’ 건조 방식을 강력히 추구하고 있습니다. 당연한 일이죠. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 이러한 오븐들은 에너지를 많이 소비합니다....

린스-드라이 과정에서 IR 램프를 안전하고 건조한 상태로 유지하기 솔직히 말해서, 물과 전기는 함께 사용하기에는 위험한 조합입니다. 린스-드라이 과정에서 IR 램프를 사용할 때는 수증기와 물방울들이 사방으로 튀어나옵니다. 만약 그 수분이 가열 요소로 들어가면, 램프가...

오존이 발생하지 않는 적외선 램프가 고장 나지 않도록 하는 방법 사람들이 오존이 발생하지 않는 적외선 램프에 대해 이야기할 때, 보통은 그 원리에 초점을 맞춥니다. 즉, 185nm 파장의 빛을 어떻게 제거해 산소 분자가 파괴되는 것을 막는지에 대한 것입니다. 물론 이...

팹 내에서는 리소그래피 공정 및 포토레지스트의 소성 공정에서 온도 변동을 허용할 수 없습니다. 램프의 출력이 몇 도만 변해도 열 관리에 문제가 생기고, 공정이 중단됩니다. 우리는 이러한 상황을 방지하기 위해, 매번 공정을 진행할 때마다 온도가 일정하게 유지되도록 하는...

리소그래피 공정에서는, 낮은 온도에서의 건조 과정에서 발생하는 미세한 온도 변동이 그다지 심각한 문제로 나타나지 않습니다. 대신, 선의 굵기 변화나 레지스트 내에 남아 있는 용매, 그리고 몇 시간 후에야 발견되는 불량 부분들이 문제가 됩니다. 따라서 중요한 것은, 사...

팹 내부에서는 청소 후에 남아 있는 수분이 단순한 성가신 문제가 아닙니다. 이 수분은 소프트 베이킹 과정에서 포토레지스트에 스며들어 제품의 치수를 변화시키고, 그 결과 생산 효율이 저하됩니다. 웨이퍼의 수분을 제거하는 램프는 이러한 문제를 직접 해결해줍니다. 즉, 리...

반도체 제조 공장에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정이 선택적인 것이 아니라 반드시 이행해야 하는 필수 단계입니다. 웨이퍼 전체의 온도가 0.5°C만 변동해도 중요한 치수들이 변하고, 그로 인해 생산 효율이 저하됩니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 반도체 실험...

리소그래피 작업장에서 베이크 온도가 0.5도만 벗어나도 전체 웨이퍼 로트를 폐기할 수 있다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 가열 사이클이 아니라 치수 제어 수단이다. 램프가 웨이퍼 전체에 걸쳐 설정 온도를 유지하지 못하면 CD 균일성이 무너지고 수율에도 직격탄...

라인에서는 시간이 누구도 기다려주지 않는다. 300 mm 웨이퍼가 코팅에서 소프트 베이크를 거쳐 노광으로 흐르며, 초기에 설정한 열 예산은 CD 균일성, 사이드월 각도 그리고 궁극적으로 수율에 대한 규칙을 정한다. 베이크 램프가 드리프트를 시작하거나, 필드에 핫스폿을...