리소그래피 작업장에서 베이크 온도가 0.5도만 벗어나도 전체 웨이퍼 로트를 폐기할 수 있다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 가열 사이클이 아니라 치수 제어 수단이다. 램프가 웨이퍼 전체에 걸쳐 설정 온도를 유지하지 못하면 CD 균일성이 무너지고 수율에도 직격탄을 맞는다.
스핀 코터 베이크 램프는 근적외선(NIR) 쿼츠 할로겐을 기반으로 설계했다. 빠르고 직접적인 열 반응과 안정적인 복사 출력이 특징이다. 시스템은 웨이퍼 레벨에서 ±0.1℃ 이내의 균일도를 목표로 하며, 반복성은 용매 제거를 일정하게 유지해 연속 공정에 안정성을 제공한다.
램프 어셈블리는 클린룸 Class 1–100 등급을 갖췄다. 밀봉된 광학 경로와 저가스 배출 재료 사용으로 입자 수를 일정하게 유지한다. 출력은 5,000시간 이상 사용해도 5% 미만으로 강도가 편차하며, 따라서 열 예산이 시간이 지남에 따라 변하지 않는다.
스핀 코터 환경에서 견딜 수 있는 이유는 빠른 램프 가열, 정확한 유지 시간, 웨이퍼 교체 사이의 즉시 설정 온도 복귀 때문이다. 이를 통해 오버슈트 없이 베이크 사이클 시간을 단축하고, 로트당 에너지 소비를 낮추며, 풋팅(Footing)과 스컴(Scum)으로 인한 재작업 마스크 수를 감소시킨다. 결과적으로 예측 가능한 CD 제어 능력과 베이크 편차에 따른 편차 감소를 확보한다.
NIR은 속도와 균일도를 제공하지만 램프는 청정 전원과 정밀한 광학 정렬을 필요로 한다. 전압 리플이나 램프의 정렬 불량은 핫스폿으로 현저히 드러난다. 설치 전 반드시 스핀 코터의 램프 소켓 및 열 인터페이스를 점검해야 한다.
정기적인 강도 보정과 윈도우 점검 계획을 수립해야 한다. 이것이 월별로 ±0.1℃ 균일도를 유지하는 핵심 요소이다.