포토레지스트 소프트 베이크 램프

리소그래피 공정에서는, 낮은 온도에서의 건조 과정에서 발생하는 미세한 온도 변동이 그다지 심각한 문제로 나타나지 않습니다. 대신, 선의 굵기 변화나 레지스트 내에 남아 있는 용매, 그리고 몇 시간 후에야 발견되는 불량 부분들이 문제가 됩니다. 따라서 중요한 것은, 사...