왜 우리는 클린룸 내의 히터의 절연 성능에 그토록 신경을 쓰는가? 클린룸을 운영할 때 가장 원하지 않는 것은, 입자나 유해 가스를 방출하는 히터입니다. 그건 정말 끔찍한 상황입니다. 우리는 상태를 최상으로 유지하기 위해 특수한 적외선 램프를 사용하지만, 또 다른 문제...

반도체 제조 공장에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정이 선택적인 것이 아니라 반드시 이행해야 하는 필수 단계입니다. 웨이퍼 전체의 온도가 0.5°C만 변동해도 중요한 치수들이 변하고, 그로 인해 생산 효율이 저하됩니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 반도체 실험...