クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もしクラス100の環境で作業を行っているのであれば、ガスが漏れ出したり、不要な粒子が漂ったりするという問題をご存知でしょう。これは絶え間ない戦いです。一般的な赤外線ランプでは、高温になると劣化してしまうため、シリコンウェーハや高品位な光学部品を扱う際には問題が生じます。
私たちは、高純度の合成石英を使用してこの問題に対処しています。
なぜ石英が重要なのか
私たちが使用しているのは、ほぼすべての不純物が除去された熔融シリカです。安価なランプが時間が経つにつれて曇ってしまうのも、このためです。私たちの製品は透明なままです。
さらに重要なのは、急速に加熱・冷却しても割れたり、破片が飛び散ったりすることがない点です。これにより、製品を汚染することなく、安定した熱源を得ることができます。
適切な温度管理
重要なのは素材だけでなく、その扱い方も重要です。私たちはデジタルコントローラーを使って、徐々にパワーを上げていきます。一気にパワーを上げると、石英が壊れてしまいます。
また、ワット数と長さのバランスを調整するのにも時間をかけています。目的は、均一な熱分布を実現することです。 hot spotがなく、薄膜基板が歪むこともありません。一貫した加熱が可能です。
注意すべき点
これらのランプは、既存の装置に簡単に取り付けられるように設計されています。また、シールをしっかりとして、ホウルから何も漏れ出ないようにしています。
しかし、高純度の石英は、通常使われているドープガラスよりもややもろいです。大量の熱には耐えられますが、衝撃には弱いのです。
取り付けブラケットの位置も正確でなければなりません。ランプを取り付ける際に機械的な応力がかかると、石英が壊れてしまいます。
最後に、配線時には傷がつかない工具を使うことをお勧めします。たとえわずかな傷でも、後で大きなひび割れにつながる可能性があります。丁寧に扱えば、長期間使えます。