웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

생산 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 매우 중요합니다. 온도 변동이 10ms만 있어도, 히터와 웨이퍼 사이의 정렬 오차가 1mm만 있어도 패턴이 망가지거나 가장자리에 결함이 생길 수 있습니다. 웨이퍼를 가열할 때 유지해야 하는 안전 거리는 단순한 편안한 공간...