Нагрівач для сушіння пластин сенсорів MEMS
Подивіться, як пластинка виходить з станції промивання. Не повинно бути жодних слідів води. Фоторезист не може переносити раптові зміни температури....
Безпечна відстань для нагрівання пластини
На виробничій лінії процес висушування фотополімеру є процесом, який потребує суворого дотримання певних температурних параметрів. Якщо температура...