Подивіться, як пластинка виходить з станції промивання. Не повинно бути жодних слідів води. Фоторезист не може переносити раптові зміни температури. Якщо сушарка не може досягти потрібного рівня температури, якість продукції погіршується – доводиться проводити повторну обробку, що призводить до відкидання цілої партії продукції.
Як це працює з технічної точки зору
Ми створили нагрівач для сушіння пластинок MEMS на основі швидко реагуючих елементів нагріву, сумісних із умовами чистої кімнати, а також на основі кварцових матеріалів. Це дозволяє зберігати однорідність температури на поверхні пластинки в межах ±0,1°C по всій активній зоні. Таким чином процес сушіння відбувається точно відповідно до заданих параметрів.
Створення частинок пилу запобігається завдяки закритій конструкції та використанню матеріалів з низьким рівнем випаровування. Контролер фіксує температуру з високою точністю, що сприяє стабілізації процесу та зменшенню похибок. Витрати енергії також контролюються – менша теплова маса та ефективне ізоляційне покриття дозволяють зменшити споживання енергії без порушення стабільності процесу.
Чому це важливо на виробництві
У процесі виробництва MEMS етап сушіння є основою для всіх наступних етапів літографії та упаковки. Завдяки цьому нагрівачу пластинки сушаться без утворення крапель води чи слідів води. Крім того, цей нагрівач забезпечує збереження інтегритету фоторезисту завдяки стабільним параметрам нагріву.
Це призводить до меншої кількості повторних процедур, кращого контролю розмірів елементів та прогнозування часу виконання процесу. Пристрій призначений для цілодобової роботи, тож час безперервної роботи залишається стабільним, а непланові перерви стають рідкістю. Коли тепловий бюджет є обмеженим, цей пристрій допомагає підтримувати процес у заданих параметрах, незалежно від кількості партій продукції.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Під час встановлення необхідно забезпечити сумісність інтерфейсів пристрою з іншим обладнанням. Ми надаємо параметри розмірів та специфікації, але все одно необхідно перевірити їх на коректність відносно конфігурації вашого обладнання.
Нагрівач швидко досягає заданої температури, але камера та сама пластинка все одно потребують певного часу для нагріву. Обробляйте пристрій як обладнання, призначене для чистої кімнати – не торкайтеся нагрітих поверхонь та дотримуйтесь правил контролю ЕСД та забруднень.
Зміна параметрів процесу вимагає лише короткої налаштування. Після цього процес стає стабільним та передбачуваним.