Lihatlah wafer yang keluar dari stesen pembilasan tersebut. Tidak boleh ada kesan air pada permukaan wafer tersebut. Bahan photoresist tidak boleh...

Di bilik pemprosesan wafer, kelembapan yang tertinggal selepas proses pembersihan bukan sekadar masalah kecil. Kelembapan tersebut akan meresap ke...