왜 반도체 제조에 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용하는가?
반도체 산업은 ‘친환경적이고 납이 없는’ 건조 방식을 강력히 추구하고 있습니다. 당연한 일이죠. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 이러한 오븐들은 에너지를 많이 소비합니다. 부품 자체가 아닌 주변 공기를 가열하는 데 너무 많은 시간이 듭니다.
그래서 우리는 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프로 전환했습니다. 이 램프들은 방 전체를 따뜻하게 하는 대신, 에너지를 직접 부품에 전달합니다. 이 방식은 더 깨끗하고 빠르며, 경화 과정에서 유해한 화학 용매를 사용할 필요도 없습니다.
금 코팅의 효과
일반적인 석영관은 열을 사방으로 방출합니다. 이는 문제가 됩니다. 하지만 트윈 튜브의 내벽에 금 코팅을 하면 마치 거울처럼 작용하여 모든 적외선 에너지를 한곳으로 집중시킵니다.
가장 좋은 점은, 별도의 추가적인 에너지가 필요하지 않으면서도 목표물에 더 많은 열이 전달된다는 것입니다. 게다가 열이 기계의 다른 부분으로 퍼지지 않으므로 클린룸의 온도도 낮게 유지됩니다. 아무도 사우나처럼 뜨거운 클린룸을 원하지 않습니다.
‘트윈 튜브’ 구조의 중요성
우리가 트윈 튜브 구조를 사용하는 이유는, 더 많은 작업 면적을 확보할 수 있으면서도 공간을 더 차지하지 않기 때문입니다. 이를 통해 웨이퍼나 PCB에 고르고 일정한 열이 전달됩니다.
단일 요소 히터를 사용할 때 나타나는 ‘열점’ 문제도 없습니다. 이 장비들은 빠른 가열이 가능합니다. 스위치만 켜면 바로 사용할 수 있습니다.
단점과 해결책
다만, 이 램프들은 너무 강력하기 때문에 조립 과정의 후단부가 과열될 수 있습니다. 그러니 이 램프들을 그냥 설치해두고 방치해서는 안 됩니다. 배기 팬과 방열 장치를 잘 관리해야 합니다. 공기 흐름이 막히면 필라멘트가 예상보다 더 빨리 손상될 수 있습니다. 이는 간단한 문제이지만 매우 중요합니다.
이러한 구조로 전환함으로써 우리는 탄소 배출을 줄이는 데 큰 진전을 이룰 수 있습니다. 더 이상 화석 연료를 사용하지 않고, 효과적인 전기식 처리 방식을 사용할 수 있습니다.