MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

웨이퍼가 세척 공정을 거친 후 나오는 모습을 보세요. 물자국이 있어서는 안 됩니다. 포토레지스트는 급격한 온도 변화를 견딜 수 없습니다. 건조기가 적절한 온도를 유지하지 못하면, 제품의 품질이 떨어지게 되고, 재작업이 필요해지며, 결국 해당 로트는 폐기되어야 합니다....