웨이퍼 처리 장치에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 대부분의 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 웨이퍼를 가열할 때는 그 에너지가 웨이퍼에 직접 도달해야 합니다. 결코 값비싼 기계의 내벽에 열이 전달되는 것을 원하지 않습니다. 만약...

하나의 고장 난 램프가 전체 생산 과정을 망치는 것을 막으세요. 높은 부하가 필요한 반도체 생산을 하고 있다면, 그 끔찍한 상황을 잘 알 것입니다. 단 하나의 IR 램프만 고장 나도, 이제는 단순히 히터가 고장난 것이 아니라, 생산 구역 전체가 유리 조각과 텅스텐 필...

기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 가열하세요. IR 램프의 문제점은 바로 그 ‘지저분함’입니다. 이 램프들은 모든 방향으로 광선을 방출합니다. 반사판이 없다면 에너지의 절반은 그대로 역방향으로 흘러가서 장비의 몸체나 내부 벽을 손상시킵니다. 반도체 제조 장비에서는 이것이...