Kijk hoe een wafer van de spoelstation afkomt. Er mogen geen watervlekken op zitten. De fotorezyst kan geen plotselinge temperatuurschommelingen verdragen. Als de droger niet de juiste temperatuur kan bereiken, neemt de kwaliteit van de wafer af – dat betekent nog meer herwerkingen en nog meer batches die weggegooid moeten worden.
Wat er technisch gezien gebeurt We hebben de droogheater voor MEMS-sensoren ontworpen met behulp van snel reagerende, klaarsteenklaare verhittingselementen en een kwarts gebaseerd thermisch ontwerp. Hierdoor blijft de uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de wafer binnen ±0,1°C, zodat de verschillende droogprocessen precies volgens het voorschrift kunnen worden uitgevoerd.
Het risico op het ontstaan van deeltjes wordt tot nul gereduceerd door het gebruik van afgesloten constructies en materialen die weinig gassen afgeven. De controller registreert de temperatuur met een hoge nauwkeurigheid, waardoor de procesparameters stabiel blijven. De energieverbruik wordt nauwkeurig gemeten; een lagere thermische massa en efficiënte isolatie zorgen voor minder energieverbruik, zonder dat de stabiliteit in het geding komt.
Waarom dit belangrijk is Bij MEMS bepaalt het droogproces de basis voor alle volgende lithografie- en verpakkingsstappen. Met deze droogheater wordt de wafer perfect gedroogd – er zijn geen watervlekken en de integriteit van de fotorezyst blijft behouden dankzij constante temperatuurwaarden.
De voordelen zijn dat er minder herwerkingen nodig zijn, de dimensies van de componenten nauwkeuriger worden gemeten en de cyclustijden voorspelbaar blijven. De unit is ontworpen voor 24/7 gebruik, zodat de productie continu kan doorgaan en onverwachte storingen zelden voorkomen. Wanneer de energierequirenten beperkt zijn, houdt deze unit het proces binnen de gewenste parameters, batch na batch.
Wat je moet plannen Voor de installatie moet je ervoor zorgen dat de aansluitingen van de apparatuur goed passen. We leveren de benodigde afmetingen en specificaties, maar je moet zelf nog controleren of alles past bij de lay-out van je werkplek.
De droogheater bereikt snel de gewenste temperatuur, maar de kamer en de draagconstructie hebben nog even tijd nodig om op temperatuur te komen. Behandel de apparatuur als apparatuur die in een klaarsteekomst wordt gebruikt: raak de verwarmde oppervlakken niet aan en houd je aan de regels voor ESD en besmettingpreventie.
Het aanpassen van de instellingen duurt maar even. Eenmaal ingesteld, kan het proces op een consistente manier worden uitgevoerd, zodat het ook onder controle kan worden gehouden.