Lamp voor het verwijderen van vocht uit wafer
Op de productielijn is het vocht dat na het schoonmaken achterblijft geen klein probleem. Het dringt door in de fotoresist tijdens het zachte bakken,...
Saffier wafer verwerkingsverwarmer
Op de fabrieksvloer Die 2-inch saffierwafel ligt onder de lithografietrein te wachten op een Soft Bake. Je hebt 110°C over het hele oppervlak nodig,...