Mengapa kita beralih daripada penggunaan udara panas kepada penggunaan reflektor inframerah dalam proses penyembuhan wafer
Jika anda pernah terlibat dalam proses pemprosesan semikonduktor, pasti anda tahu betapa lambatnya proses menggunakan udara panas. Anda perlu memanaskan udara di dalam bilik yang besar hanya untuk menghantar haba ke wafer yang kecil. Ia sama seperti cuba memanaskan rumah dengan memanaskan jalan masuknya terlebih dahulu.
Itulah sebabnya kita beralih kepada kaedah pemanasan menggunakan inframerah. Daripada menunggu udara panas, inframerah menggunakan sinaran untuk memanaskan wafer secara langsung. Ini merupakan cara yang lebih efisien.
Rahsianya terletak pada reflektor
Lampu penyembuhan sahaja tidak cukup efektif. Tanpa reflektor, separuh daripada tenaga yang digunakan akan terbuang begitu saja. Kita menggunakan reflektor yang mempunyai lapisan khas yang dapat memantulkan cahaya kembali ke wafer. Ini membantu mengumpulkan haba dengan lebih efektif. Selain itu, dengan mengubah bentuk reflektor, kita boleh memastikan haba tersebar secara merata. Tiada lagi kawasan yang sejuk atau permukaan wafer yang rosak. Hanya hasil penyembuhan yang berkualiti tinggi sahaja yang akan diperoleh.
Mengatasi masalah inersia termal
Masalah utama dengan penggunaan oven udara adalah masa yang diperlukan untuk suhu bilik mencapai tahap yang diinginkan. Jika perlu mengubah suhu untuk proses yang berbeza, kita perlu menunggu sehingga suhu udara stabil. Ini merupakan pembaziran masa yang besar.
Sistem inframerah pula tidak mempunyai masalah ini. Dengan menekan butang, suhu wafer akan mencapai tahap yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Ini dapat mempercepatkan proses pemprosesan.
Kesan negatif (kerana tiada yang sempurna)
Walaupun inframerah sangat efektif, ia juga mempunyai kelemahan tersendiri. Lampu inframerah menghasilkan haba yang banyak. Walaupun kita dapat menjimatkan masa, kita masih memerlukan sistem penyejukan yang mampu menangani beban haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut.
Selain itu, kita perlu memastikan bahawa reflektor sentiasa bersih. Jika reflektor kotor, kotoran akan melekat pada permukaannya. Ini akan merosakkan fungsi reflektor dan menyebabkan peningkatan suhu yang mendadak.
Jika anda ingin beralih daripada kaedah konveksi, pertimbangkanlah masa yang diperlukan untuk proses pemprosesan. Jika anda menghabiskan masa yang banyak menunggu agar bahan-bahan menjadi panas atau sejuk, maka penggunaan reflektor inframerah merupakan pilihan yang tepat.