フォトレジスト乾燥用赤外線モジュール
リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度の偏差が半度程度あっても、それは「許容範囲」とは言えません。その場合、ウェーハは廃棄処分されます。フォトレジストの乾燥は温度管理によって左右され、赤外線モジュールは、歩留まりを決定する重要な要素となります。
実際に重要なのは何か 私たちは、ウェーハ...
独立型ファイアーピットヒーター
今日のライト・ラグジュアリーな空間では、シンプルで落ち着いたデザインが重視されます。不適切なヒーターを使うと、その雰囲気を一瞬で台無しにしてしまいます。そこで、この独立型の赤外線ファイヤープレースヒーターを開発しました。これは、雰囲気を壊さずに、むしろそれに合った機能を持っています。コーナーに設置...
デジタルサーモスタット式ヒーター
ホットヨガのスタジオでは、温度を一定に保つことが重要です。温度が下がってしまうと、レッスンのリズムが崩れてしまいます。生徒たちは汗をかかなくなり、インストラクターも正確な指示を出せなくなり、結果としてレッスン全体が台無しになってしまいます。そこで、私たちはこのデジタルサーモスタット付きの赤外線ヒー...
CE認証取得済みの電気ヒーター
暑さが和らぐと、屋外の夜はすぐに静かになってしまいます。わずかな接続部の不具合や、過度に熱くなった配線があるだけで、パティオが冷えてしまい、ちょうど必要な時にヒーターが使えなくなってしまいます。
実際に重要なのは何か 赤外線ヒーターは、空気を温めるのではなく、直接人や物体に熱を放つことで快適さを提...
室内用電気ヒーター
寒い部屋の中でスイッチを入れてみてください。最初の数秒間で、赤外線式電気ヒーターの性能がすべてわかります。しっかりとした製品であれば、すぐに光り始め、均一でクリアな光を放ちます。これは、ヒーターの部品が高品質であることを示しています。この迅速な反応こそが、実際に購入する商品の性能を判断する最も良い...
ウェーハ除湿ランプ
ファブ内では、クリーニング後に残った水分は単なる迷惑な存在ではありません。その水分はソフトベイクの際にフォトレジストに浸透し、部品の寸法を変化させてしまいます。その結果、歩留まりが低下してしまいます。ウェハ用の水分除去ランプは、この問題に対処するために、リソグラフィ工程が損なわれる前に表面の水分を...
スマート電気ヒーター
スマート電気ヒーターの真の価値とは、稼働中にどれだけ温かく感じられるかだけではありません。重要なのは、プランが変更されたときにどれだけ迅速に反応できるかです。スマートホーム環境では、快適さや節約効果は、ヒーターを長時間稼働させることではなく、素早い反応性によってもたらされます。
内部構造 私たちが...
ウェーハ加熱時の安全距離
ファブの現場では、フォトレジストの焼成処理は、厳守しなければならない熱的条件に関わるプロセスです。温度が10ミリ秒だけ変動したり、ヒーターとウェーハの間の位置が1ミリだけずれてしまうだけで、パターンが崩れたり、端部分に不良が発生したり、最悪の場合はロット全体が廃棄されてしまいます。ウェーハを加熱す...
低出力ヒーター
赤外線ヒーターから離れても、部屋がまだ温かいことに気づいたことはありますか？その快適さは偶然ではありません。それは、赤外線熱の性質によるものです。私たちが開発した低出力の赤外線ヒーターは、安定した赤外線熱を放出し、床や家具、壁に吸収されてから再び部屋全体に放散されます。装置の電源を切った後でも、こ...
接着剤硬化工場
製造現場では、ご存知の通り、チップ接着用の接着剤が適切に硬化しなければなりません。もし硬化度にわずか1度でもばらつきがあると、ワイヤーボンディングの強度やチップの破壊力に影響が出てしまい、結果として再作業や廃棄処分を余儀なくされます。ですから、工程カードで指定された場所に正確に熱を加え続ける必要が...
半導体実験室用オーブンランプ
ファブ内では、フォトレジストの焼成は任意の工程ではなく、必須の工程です。ウェーハ全体でわずか0.5°Cの温度変化があっても、重要な寸法が変わり、歩留まりが悪化してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、半導体用のラボ用オーブン用ランプを開発しました。
実際に重要なのは何か 結局のとこ...
CIGS太陽電池加工用ヒーター
製造現場において、熱変動というのは、スプレッドシートで追跡するような単なる数値ではありません。それは、効率が24.5％のCIGSセルと、廃棄物だらけのものとの違いを決定づける要素です。もし熱変動がソフトベイク工程に影響を与えれば、回路線幅が乱れてしまいます。また、エンカプセル剤の硬化が不均一になる...
ライボルト 真空ヒーター 予備部品
ウェーハフロアでは、フォトレジストのベイクは単なる加熱ではなく、熱予算の管理である。フィールド全体で0.5℃のずれが生じると、クリティカルディメンションが変わりかねない。また、再現性のない熱プロファイルは歩留まりを急激に低下させる。Leyboldの真空ヒーターの性能が低下し始めると、リソグラフィの...
サファイアウエハ処理ヒーター
ファブフロアでは、その2インチサファイアウエハがリソグラフィトラックの下に置かれ、ソフトベイクを待っている。熱電対が示す温度だけでなく、ウエハ全体で110℃が必要だ。これより低ければフォトレジストのプロファイルがずれ、高ければ熱予算を消費してしまう。
技術的に重要なポイント サファイアウエハ処理に...
高速応答赤外線ヒーターバルブ
ウェーハフロアでは、時間の単位は秒であり、温度ドリフトは歩留まりに影響を与える可能性があります。フォトレジスト処理において、ソフトベイクは溶剤を除去し、フィルムの均一性を確保するプロセスです。ハードベイクは、エッチングに耐える必要がある架橋を固定します。もし熱源が設定温度に瞬時に到達できず、ウェー...