Osservate come la wafer esca dalla stazione di risciacquo: non devono esserci tracce d’acqua. Il fotorest non può subire variazioni termiche improvvise. Se il dispositivo di essiccazione non riesce a raggiungere la temperatura corretta, la qualità del prodotto ne risente: si necessita di ulteriori lavorazioni di rettifica, e quindi lotti interi vanno scartati.
Cosa c’è sotto il profilo tecnico?
Abbiamo progettato il riscaldatore per wafer MEMS utilizzando elementi riscaldanti ad alta velocità di risposta, compatibili con ambienti puliti, nonché un sistema termico basato sul quarzo. Questo permette di mantenere una uniformità della temperatura entro ±0,1°C nell’area attiva, in modo che i parametri di essiccazione vengano rispettati alla perfezione.
La generazione di particelle è ridotta al minimo grazie a una struttura sigillata e a materiali che riducono le emissioni gassose; i valori relativi alle particelle rimangono quindi compresi tra 1 e 100. Il controller registra la temperatura con precisione, permettendo così di mantenere stabili i parametri del processo e di ridurre gli errori. L’uso di energia è misurato con precisione: una massa termica ridotta e un isolamento efficace permettono di ridurre il consumo energetico senza compromettere la stabilità del processo.
Perché è importante nel processo di produzione?
Nel caso dei MEMS, la fase di essiccazione è fondamentale per ogni successiva fase di litografia e confezionamento. Con questo riscaldatore, l’essiccazione avviene in modo perfetto, senza formazione di gocce d’acqua o tracce d’umidità; inoltre, la struttura del riscaldatore mantiene l’integrità del fotorest, grazie a parametri di essiccazione precisi.
I vantaggi sono evidenti: meno lavorazioni di rettifica, controllo più preciso delle dimensioni dei componenti, e tempi di ciclo prevedibili. Il dispositivo è progettato per funzionare 24/7, quindi il tempo di funzionamento è costante e le interruzioni impreviste sono rare. Quando il budget energetico è limitato, questo dispositivo permette di mantenere il processo entro i limiti richiesti, batch dopo batch.
Cosa bisogna considerare durante l’installazione?
L’installazione richiede che le porte del dispositivo e le connessioni per i gas siano correttamente abbinate. Forniamo le dimensioni e le specifiche necessarie, ma è comunque necessario verificare che lo spazio disponibile sia sufficiente per l’installazione.
Il riscaldatore raggiunge rapidamente la temperatura desiderata, ma la camera e il supporto su cui si trova necessitano ancora di un breve periodo di riscaldamento prima di poter essere considerati pronti all’uso. Bisogna trattarlo come attrezzature destinate a ambienti puliti: evitare di toccare le superfici riscaldate e rispettare le norme relative all’ESD e alla contaminazione.
Per modificare i parametri di funzionamento è sufficiente un breve regolaggio. Una volta impostati correttamente i parametri, il processo diventa ripetibile e controllabile.