Trên bề mặt wafer, sự thay đổi về nhiệt độ trong quá trình nung không gây ra những sai hỏng nghiêm trọng. Thay vào đó, nó biểu hiện qua sự thay đổi độ dày của lớp phủ, sự tồn tại của chất lỏng trong lớp phủ, cùng với các lỗi xuất hiện sau vài giờ kể từ khi quá trình nung kết thúc. Điều cần thiết là phải có bộ đèn có khả năng duy trì nhiệt độ ổn định, đúng như yêu cầu trong quy trình sản xuất – từ lần này sang lần khác.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Chúng tôi sử dụng các đèn phát ánh sáng hồng ngoại gần (NIR), với bước sóng được điều chỉnh sao cho có thể làm nóng lớp phủ một cách nhanh chóng và đồng đều. Nhờ đó, không xảy ra sự chênh lệch nhiệt độ giữa bề mặt và phần dưới của lớp phủ. Mức độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C, điều này giúp đảm bảo tính ổn định của lớp phủ và quy trình phủ màng. Hệ thống hoạt động liên tục mà không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào – phù hợp với các môi trường sạch từ loại 1 đến loại 100. Cường độ ánh sáng giữ ổn định trong hơn 5.000 giờ, với mức sai lệch dưới 5%. Đồng thời, mô hình nhiệt độ cũng giữ ổn định từ lô sản xuất này sang lô khác.
Điều này rất quan trọng trong quá trình sản xuất: giúp giảm số lần phải sửa chữa và giảm nguy cơ bị nhiễm bẩn. Việc kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp giảm tình trạng chất lỏng bị kẹt trong lớp phủ, từ đó giúp kiểm soát độ dày của lớp phủ một cách chính xác hơn. Việc sử dụng ánh sáng hồng ngoại giúp tiết kiệm năng lượng, vì ánh sáng này làm nóng trực tiếp lớp phủ, chứ không phải các bức tường của buồng nung.
Hệ thống này được thiết kế để hoạt động 24/7, với khả năng điều chỉnh nhiệt độ theo đúng quy trình yêu cầu, mà không gây ra sự gián đoạn trong quy trình sản xuất.
Một vài lưu ý thực tế: Cường độ ánh sáng hồng ngoại giảm dần theo khoảng cách. Do đó, khoảng cách giữa đèn và wafer cần được điều chỉnh chính xác ngay từ lúc lắp đặt. Cần có thời gian ấm lên để đạt được mức nhiệt độ ổn định. Ngoài ra, cần lên kế hoạch bảo trì định kỳ để đảm bảo hệ thống hoạt động ổn định. Đảm bảo rằng thiết bị này tương thích với các thiết bị phủ màng của bạn, và kiểm tra lại quy trình nung để đảm bảo mọi thứ đều hoạt động đúng theo yêu cầu.