Trong môi trường sản xuất bán dẫn, việc sử dụng lò nướng để xử lý vật liệu phản quang là điều không thể thiếu – đó là yêu cầu bắt buộc. Ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C trên bề mặt wafer cũng có thể làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer, từ đó ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Chúng tôi đã thiết kế loại đèn dùng trong phòng thí nghiệm bán dẫn nhằm đáp ứng những yêu cầu này.
Điều quan trọng nhất chính là độ chính xác về mặt bức xạ hồng ngoại. Đèn NIR của chúng tôi tạo ra trường nhiệt độ đồng đều ở mức dưới một milimét, giúp đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Điều này không phải do công suất lớn mà là nhờ vào khả năng kiểm soát bức xạ và thiết kế phản chiếu ánh sáng chính xác.
Kết quả là quy trình nướng có thể được lặp lại một cách ổn định từ lần này sang lần khác. Trên thực tế, điều này giúp đảm bảo sự ổn định trong quy trình xử lý vật liệu phản quang, đồng thời giúp kiểm soát được độ rộng của các đường kẻ trên bề mặt wafer.
Tại sao đèn này lại phù hợp với môi trường sản xuất thực tế? Đèn này có thể được lắp đặt trực tiếp vào các lò nướng trong phòng sạch loại 1–100. Việc loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi là điều cần thiết, vì vậy thiết kế của đèn sử dụng vỏ thủy tinh kín và các bộ phận giúp giảm lượng khí thải, từ đó duy trì mức độ sạch cần thiết.
Độ tin cậy của đèn được đo qua thời gian hoạt động liên tục. Các đơn vị sử dụng đèn này có thể hoạt động hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ sai số chỉ dưới 5%. Nhờ đó, bạn không cần lo lắng về việc đèn hỏng, mà có thể tập trung vào việc đảm bảo tính ổn định của quy trình sản xuất. Ngoài ra, việc sử dụng đèn NIR còn giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng, vì đèn chỉ làm nóng wafer chứ không phải các bức tường của lò nướng.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt: Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng việc kết nối nhiệt giữa đèn và lò nướng lại rất quan trọng. Đèn cần được lắp đặt sao cho có khoảng cách và độ căn chỉnh phù hợp với lò nướng; nếu không, sẽ xuất hiện các điểm nóng trên bề mặt wafer. Bạn nên chuẩn bị thời gian 30 giây để đèn ổn định sau khi được lắp đặt. Mặc dù đèn này có thể hoạt động với hầu hết các loại lò nướng, nhưng việc cải tạo các lò nướng cũ có thể đòi hỏi phải thay đổi một chút cấu trúc điều khiển. Chúng tôi cung cấp thông số kỹ thuật chi tiết để tránh những bất ngờ khi lắp đặt.