なぜ半導体製造には金メッキ処理が施されたツインチューブ型の赤外線ランプが使われるのか？ 半導体業界では、「環境に優しく、鉛を含まない乾燥方法」が求められています。それも当然です。長年、私たちは対流式オーブンを使ってきましたが、正直、これらはエネルギーの消費量が多すぎます。部品自体を加熱する代わりに、部品の周囲の空気を加熱するのに多くの時間がかかってしまいます。
そのため、私たちはツインチューブ型で金メッキ処理が施された赤外線ランプを採用しました。このランプは部屋全体を温めるのではなく、エネルギーを直接基板に送り込みます。これにより、よりクリーンで迅速な処理が可能になり、硬化処理時に有害な化学溶剤を使う必要もありません。
金メッキの効果 通常の石英管では、熱があちこちに散らばってしまいます。しかし、ツインチューブの内壁に金メッキを施すと、それはまるで鏡のように機能し、赤外線エネルギーを集中させて一方向に送り出します。
最良な点は、壁からより多くの熱を得られる一方で、電力の消費量は増えないことです。また、熱が機械の筐体全体に漏れることもないため、クリーンルームの温度が上昇することもありません。サウナのようなクリーンルームは誰も好みません。
なぜ「ツインチューブ」が重要なのか ツインチューブ構造を採用する理由は、より多くの表面積を利用できる一方で、スペースを多く取らないからです。これにより、ウェーハやPCB全体に均一に熱を供給することができます。
単一のヒーターを使った場合によく見られる「ホットスポット」の問題もありません。また、この方式は速く温度を上げることができます。スイッチを入れるだけで、すぐに使用可能です。
デメリット（注意すべき点） ただし、このランプは非常に強力で多くのエネルギーを送り出すため、装置の裏側が過度に加熱されてしまう可能性があります。
単純にこのランプを設置しておくだけでは不十分です。排気ファンやヒートシンクの使い方に注意する必要があります。空気の流れが悪くなると、フィラメントが本来より早く燃え尽きてしまいます。これは簡単な解決策ですが、非常に重要な点です。
この方式に移行することは、ゼロ排出目標を達成するための大きな一歩です。化石燃料を使わずに部品を加熱する代わりに、効率的な全電力式の処理方式を採用するのです。