ウェーハチャンバー内での熱の無駄遣いをやめましょう。
ほとんどの赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまうのです。半導体ウェーハを加熱する際には、そのエネルギーが基板上に届くことが望ましいのです。高価な機械の内壁に熱が浸透してしまうのは避けたいものです。
機器が巨大な放熱体のように機能してしまうと、状況は悪化します。電力が無駄に消費され、機械のフレームも熱で膨張してしまいます。これは本当に面倒な問題です。
方向性加熱の仕組み
この問題を解決するには、従来の石英管を使わない方法を採用します。代わりに、方向性を持った赤外線技術を利用します。まるで、ランプの背面に反射板や特殊なコーティングを施したようなものです。
360度に熱が放出されるのではなく、熱が前方に集中されます。そうすることで、ウェーハに集中的に熱が当たります。一方で、ランプの背面は冷却された状態を保ちます。これにより、チャンバーの壁が焼損することもありません。とてもシンプルです。
チームや機器を守る
筐体を冷やすことは、単に電気代を節約するためだけではありません。それは、機器の周りで作業する人々の安全のためでもあります。内壁が過度に高温にならない限り、技術者たちは素早い交換やメンテナンスの際に火傷の危険にさらされることはありません。これにより、工場全体がより安全になります。
ただし、注意点があります
ただし、熱が集中するため、通常のランプのような「柔らかな」光は得られません。つまり、PID調整を正確に行う必要があります。ウェーハの位置が数ミリずれているだけでも、表面の温度にばらつきが生じます。
つまり、広範囲にわたる熱供給という利点を捨てて、高精度な加熱を実現するのです。ほとんどの場合、これは十分に価値のある取引です。