1つの故障したIRランプが全ての製品を台無しにするのを防ぐ
高負荷の半導体製造を行っている人なら、その悩みはよくわかるでしょう。1つのIRランプが故障するだけで、単にヒーターが使えなくなるだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが至る所に散乱し、製造現場が混乱状態に陥ります。
1回の故障で、大量のウェーハが無駄になってしまいます。本当に大変で、コストも莫大です。
そんな状況を避けるために、私たちはセラミック製のエンドキャップを開発しました。
混乱を内部に閉じ込める
一般的なIRランプでは、単純なクリンプ式のシールが使われています。しばらくは問題ありませんが、過度な熱サイクルによって徐々に劣化してしまいます。疲労してしまい、最終的には機能しなくなります。
私たちは、そのような単純なシールの代わりに、高純度のセラミック製エンドキャップを使用しました。これらはまるで物理的な盾のような役割を果たします。もし石英の外殻が壊れても、セラミック製のケースが破片を受け止めてくれます。そうすれば、粒子がウェーハ表面に飛び散ることを防げます。
なぜアルミナか？
アルミナセラミックを選んだのには理由があります。それは、アルミナが石英と相性が良いからです。
熱膨張率もほぼ同じです。急激に温度が上昇しても、金属の場合のような応力が発生しません。そのため、ランプが最高温度に達しても、電気的な接続はしっかりと維持されます。
また、これらのエンドキャップは不活性です。高真空や特殊な雰囲気の中で作業する際には、安価な接着剤や低品質な合金からのガス放出は避けたいものです。これらのエンドキャップなら、その心配はありません。
トレードオフ
もちろん、完璧なものはありません。
これらのエンドキャップは、ランプの端にわずかな重量を加えます。取り付ける前に、装置のクランピング力を確認してください。セラミックが壊れないように、過度に締め付けないように注意しましょう。
少しの取り付けの柔軟性を犠牲にしても、安心感を得ることができます。
24時間365日稼働している場合、故障したランプが原因で工場全体が一週間もかけて清掃作業を行わなければならないような事態を防ぐには、これが最善の方法です。許容範囲を確認し、既存の制御装置に接続すれば、問題ありません。