دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در محفظههای حرارتی، هدر برود!
مشکل اکثر لامپهای مادون قرمز این است که گرما را در تمام جهات پخش میکنند. وقتی که در حال گرم کردن ویفرهای نیمههادی هستید، میخواهید که انرژی مورد نیاز دقیقاً به سطح ویفر برسد؛ قطعاً نمیخواهید که این انرژی وارد دیوارههای داخلی دستگاه شود، زیرا این کار باعث هدر رفتن انرژی و گسترش فریم دستگاه میشود. این موضوع میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند.
نحوه کارکرد گرمایش جهتدار
برای حل این مشکل، از لولههای کوارتز استفاده نمیکنیم؛ در عوض، از فناوری مادون قرمز جهتدار استفاده میکنیم. میتوانید آن را مانند اضافه کردن یک بازتابنده یا پوشش ویژه در پشت لامپ در نظر بگیرید.
در این روش، گرما فقط در یک جهت انتشار مییابد؛ این کار باعث میشود که گرما به طور متمرکز به سطح ویفر برسد. در نتیجه، دیوارههای داخلی دستگاه دچار آسیب نمیشوند. خیلی ساده است!
حفاظت از تیم کاری و تجهیزات
حفظ سرمای دستگاه، فقط برای صرفهجویی در هزینههای برق نیست؛ بلکه برای حفاظت از افرادی که روی دستگاهها کار میکنند، نیز مهم است.
وقتی که دیوارههای داخلی دستگاه گرم نشوند، تکنسینها در هنگام تعمیرات یا تعویض قطعات، در معرض خطر سوختگی قرار نخواهند گرفت. این کار باعث ایمنتر شدن کل کارخانه میشود.
اما یک نکته مهم وجود دارد: باید منابع تغذیه دستگاه را به درستی تنظیم کنید. این منابع، جریان الکتریکی زیادی را مصرف میکنند؛ بنابراین اگر میخواهید ویفر ۳۰۰ میلیمتری را به سرعت گرم کنید، مطمئن شوید که سیستم خنککننده دستگاه، میتواند این میزان گرما را تحمل کند. دیوارههای دستگاه ممکن است سرد باشند، اما سطح ویفر تحت فشار گرمای زیادی قرار خواهد گرفت.
تعادل بین دقت و گرمایش
البته، یک معایب این روش نیز وجود دارد؛ چون گرما به طور متمرکز انتشار مییابد، نور “نرم” لامپهای معمولی از بین میرود. این بدان معناست که تنظیمات PID باید دقیق باشد. اگر ویفر چند میلیمتر از جای خود منحرف شود، دمای سطح ویفر تغییر خواهد کرد.
شما در ازای دقت بالاتر، گرمایش کمتری را دریافت میکنید؛ اما برای اکثر افراد، این تعادل ارزشمند است.