دیگر انرژی را برای گرم کردن هوا هدر ندهید؛ روش بهتری برای پختن ویفرها وجود دارد.
باید صادق باشیم: کارخانههای تولید نیمههادی، واقعاً مصرفکنندگان بزرگ انرژی هستند. اگر به جایی که تمام این انرژی میرود نگاه کنیم، متوجه خواهیم شد که بخش عمدهای از آن صرف ایجاد گرما میشود.
سالهاست که از فرهای بزرگ برای گرم کردن فضا استفاده میشود؛ اما مشکل اینجاست که برای رساندن ویفر به دمای مناسب، باید کل فضای مربوطه، از جمله هوا و دیوارها، گرم شود. این روش کارآمد نیست.
به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای فرابنفش روی آوردهایم. این لامپها انرژی را مستقیماً به سمت سطح ویفر ارسال میکنند؛ یعنی انرژی مستقیماً به سطح ویفر میرسد.
چرا فیزیک اهمیت دارد؟
ما از امواج فرابنفش کوتاه و متوسط استفاده میکنیم؛ زیرا این امواج میتوانند به سرعت از بین لایههای مختلف عبور کنند.
فرق زمانی را در نظر بگیرید: در روش قدیمی، باید ساعتها منتظر گرم شدن فر باشید؛ اما در روش جدید، این کار در چند ثانیه انجام میشود. این یعنی کاهش قابل توجه مصرف انرژی برای هر ویفر. لامپهای ما دارای تراکم انرژی بالایی هستند؛ بنابراین میتوانید دمای لازم برای پختن ویفرها را به سرعت به دست آورید.
نحوه استفاده از این لامپها
نکته خوب این است که این روش میتواند به کاهش مصرف انرژی کمک کند. دیگر نیازی نیست برای جلوگیری از اتلاف انرژی، با مشکلات مربوط به گرم شدن فضا مبارزه کنید.
ما این سیستمها را به گونهای طراحی کردهایم که استفاده از آنها آسان باشد؛ در اکثر موارد، این لامپها میتوانند جایگزین عناصر گرمایشی قدیمی شوند؛ بنابراین نیازی نیست کل سیستم را تغییر دهید.
یک هشدار: مراقب منبع تأمین انرژی خود باشید؛ لامپهای فرابنفش نیاز به میزان بالایی انرژی دارند. اگر سیستم برقی شما برای تحمل این بار اضافی آماده نباشد، ممکن است سوئیچها مدام قطع شوند.
واقعیت
فرابنفش، جادویی نیست؛ این روش نیز دارای محدودیتهایی است.
به دلیل شدت گرما، اگر لامپها به درستی در مقابل ویفر قرار نگیرند، ممکن است نقاط داغی ایجاد شود. بنابراین باید در زاویه و فاصله استفاده از لامپها دقت کنید.
برای جلوگیری از مشکلات، پیشنهاد میکنیم از سیستم کنترل پیرومتری استفاده کنید؛ این روش از پختن بیش از حد ویفرها جلوگیری میکند.
همچنین، نباید این لامپها را با بار کامل کار کنید و فراموششان کنید؛ بدون سیستم خنککننگ مناسب، رشتههای الکتریکی لامپها خیلی سریع خراب خواهند شد. مهم این است که تعادل مناسبی بین سرعت پختن ویفرها و توانایی سختافزار خود برقرار کنید.