دیگر نیازی نیست دستگاه خود را گرم کنید؛ بهتر است انرژی را صرف گرم کردن ویفرها کنید.
مشکل لامپهای مادون قرمز این است که آنها تابش نور را در همه جهات پخش میکنند. بدون استفاده از منعکسکننده، نیمی از انرژی صرفاً به سمت عقب فرستاده میشود و باعث گرم شدن بدنه و دیوارههای داخلی دستگاه میشود.
در دستگاههای نیمههادی، این موضوع یک فاجعه است؛ زیرا دیوارههای داخلی دستگاه گرم میشوند و میتوانند به اپراتورها آسیب برسانند یا باعث تغییر دمای فرآیند شوند.
به همین دلیل از منعکسکنندههای آلومینیومی استفاده میکنیم؛ این منعکسکنندهها انرژی را به سمت مقصد مورد نظر هدایت میکنند.
نحوه کارکرد آن
ما از آلومینیوم با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده در بازتاب نور مادون قرمز عملکرد فوقالعادهای دارد. با تغییر شکل آلومینیوم به شکل پارابولیک یا بیضوی، میتوانیم تابش نوری که در مسیر اشتباه قرار گرفته را به سمت ویفر یا سطح کاری هدایت کنیم.
این کار باعث میشود که انرژی در یک جهت متمرکز شود؛ در نتیجه، گرمای بیشتری به سطح کاری وارد میشود و داخل دستگاه خنکتر میماند.
واقعیتها
آلومینیوم ماده خوبی است؛ اما جادویی نیست. اگر لامپی با توان بالا را در فضای کوچکی قرار دهید، منعکسکننده بخشی از گرمای آن را جذب خواهد کرد. بنابراین باید اطمینان حاصل کنید که سیستم خنککننده دستگاه به اندازه کافی قدرتمند باشد تا این گرمای اضافی را مدیریت کند.
همچنین، منعکسکننه را خیلی نزدیک به لامپ قرار ندهید؛ زیرا این کار باعث ایجاد نقاط گرم در آلومینیوم میشود و در نهایت باعث تغییر شکل آن میگردد. وقتی که شکل آلومینیوم تغییر کند، تمرکز پرتو نور نیز از بین میرود.
چرا این موضوع برای کارهای روزمره مهم است؟
هدایت مجدد گرما دو فایده مهم دارد:
اولاً، دیوارههای داخلی دستگاه دیگر به عنوان خنککننده عمل نخواهند کرد؛ این امر باعث میشود که سیستمهای کنترل دما سریعتر واکنش نشان دهند.
دوماً، تکنسینها میتوانند بدون نگرانی از سوختن، در اطراف دستگاه کار کنند.
در نهایت، وقتی که یک آرایه مادون قرمز را راهاندازی میکنید، منعکسکننه تفاوت بین این است که انرژی به سطح کاری برسد یا صرفاً برای گرم کردن اتاق هدر برود.