ফ্যাব ফ্লোরে, ২ ইঞ্চি স্যাফায়ার ওয়াফার lithography ট্র্যাকের নিচে ঢুকে আছে, Soft Bake এর অপেক্ষায়। পুরো সারফেস জুড়ে ১১০°C দরকার, শুধু থার্মোকাপল যা পড়ছে তা নয়। কম কিছুর হলে ফটোরেজিস্টের প্রোফাইল ড্রিফট করে। বেশি চাপালে থার্মাল বাজেট পুড়ে যায়।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা আসলে গুরুত্বপূর্ণ
স্যাফায়ার ওয়াফার প্রসেসিংয়ের জন্য আমরা যেসব হিটার ব্যবহার করি তা হল শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (SWIR) কোয়ার্টজ ইমিটার। এগুলো সরাসরি এবং দ্রুত তাপ দিয়ে থাকে, খুব কম থার্মাল ইনর্শিয়ার সঙ্গে। ওয়াফার-লেভেল ইউনিফরমিটি ±0.1°C এর মধ্যে থাকে চকের উপর, এবং শিফট থেকে শিফট রিপিটারেবিলিটি ±0.2°C এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা হয়।
প্ল্যাটফর্মটি Class 1–100 ক্লিনরুমের সঙ্গে সামঞ্জস্যপূর্ণ, এবং যেহেতু অংশগুলো নির্বাচন করা হয়, steady-state চলাকালীন কোনো কণা উৎপত্তি হয় না। ২৪/৭ নির্ভরযোগ্যতা পাওয়া যায়, কোনো অনাকাঙ্ক্ষিত ডাউনটাইম ছাড়াই, এবং ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইল যথেষ্ট রিপিটেবল যাতে লাইন উইথ কন্ট্রোল সক্রিয় থাকে।
কেন এই পদ্ধতি স্যাফায়ারে সফল
ওয়াফার শুকানোর সময়, SWIR শক্তি সারফেস টেনশন দ্রুত ভেঙে দেয়, ফলে শুকানোর ধাপ দ্রুত শেষ হয়—ওয়াটারমার্ক ছাড়া। ফটোরেজিস্ট প্রসেসিংয়ে, একই হিটার Soft Bake এবং Hard Bake উভয়ই পরিচালনা করে টাইট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে, ফলে অ্যাডহেশন এবং কার্ভেচার লটে নির্দিষ্টভাবে থাকে।
এর ফলে দ্রুত সাইকেল টাইম হয়, ওয়াফার প্রতি কম শক্তি খরচ হয়, এবং রিইয়ার্ক কম হয়। স্যাফায়ার সাবস্ট্রেটের ক্ষেত্রে, থার্মাল রেসপন্স স্থিতিশীল থাকে যাতে স্ফটিক কাঠামো রক্ষা পায় এবং একই সময়ে সলভেন্ট স্পষ্ট হয় এবং রেজিস্ট প্রয়োজনীয়ভাবে সেট হয়।
যে ব্যবহারিক তথ্যগুলো এড়ানো যাবেনা
হিটারের ইন্টিগ্রেশন পরিষ্কারভাবে হয়, কিন্তু এর জন্য নির্দিষ্ট পাওয়ার ফিড দরকার এবং পরিষ্কার, কম ভাইব্রেশন মাউন্টিং দরকার যাতে ইউনিফরমিটি ঠিক ঠিক থাকে। সেটপয়েন্ট লক হওয়ার আগেই একটি ছোট গরম হওয়া ও সেটেলমেন্ট পিরিয়ড থাকে।
চক ইন্টারফেসকে সাবধানে পরিকল্পনা করতে হবে—পকেট জিওমেট্রি ও স্যাফায়ারের এমিসিভিটি মেলানোই উৎপাদনে সঠিক সংখ্যা নিশ্চিত করে।