On the lithography floor, a support heater going down during photoresist stripping stops the line cold. Wafers start piling up with residues, scrap climbs, and the scheduler is suddenly in a bind. You just need thermal control that doesn’t make you sweat. What matters, technically Our photoresist stripping support heaters hold wafer-level temperature uniformity within ±0.1°C across the active zone, and they keep setpoint stability through the bake and strip sequence. Quartz elements and controlled short-wave infrared paths heat the target only, so you don’t get thermal bleed into chamber fixtures. The assembly is built for cleanroom Class 1–100, using low-outgassing materials and a surface finish that keeps particle counts flat. In multi-shift ops, you can count on 24/7 reliability with zero unplanned downtime, and repeatable temperature profiles that keep critical dimensions on spec. Why it holds up in real processing Stripping performance lives or dies on consistent thermal budget. Stabilizing the support temperature makes solvents and plasma strip chemistries work uniformly, which cuts residues and post-strip defects. Soft bake and hard bake come in tighter, too. That improves line-width control and lowers rework. The upshot is higher first-pass yield, fewer excursions, and less energy burned—thanks to faster ramp settling and less overshoot. What you need to plan for The heater drops into existing strip chambers and support platens, but the interface has to match the mechanical and thermal anchor points exactly. Set aside a short commissioning run to tune the PID and confirm the profile against your resist stack. Operating life depends on atmosphere and duty cycle. If you’re running high-power duty, put periodic quartz inspection on the calendar to keep uniformity where it should be.
লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং চলাকালীন কোনো সাপোর্ট হিটার বন্ধ হয়ে গেলে লাইন সম্পূর্ণ থেমে যায়। ওয়েফারগুলো অবশিষ্টাংশসহ জমতে শুরু করে, স্ক্র্যাপ বাড়ে এবং পরিকল্পনাকারী হঠাৎ সমস্যায় পড়ে যায়। আপনাকে এমন তাপ নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন যা অপ্রয়োজনীয় চাপ সৃষ্টি করবে না।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
আমাদের ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং সাপোর্ট হিটারগুলো সক্রিয় জোন জুড়ে ওয়েফার স্তরের তাপমাত্রার সামঞ্জস্য ±0.1°C এর মধ্যে ধরে রাখে এবং বেক ও স্ট্রিপ সিকোয়েন্সের সময় সেটপয়েন্ট স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। কোয়ার্টজ উপাদান এবং নিয়ন্ত্রিত শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড পথ শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তু গরম করে, ফলে চেম্বার ফিক্সচারের দিকে তাপের ছড়াছড়ি হয় না।
অ্যাসেম্বলি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 অনুসারে তৈরি, যেখানে কম আউটগ্যাসিং উপকরণ এবং এমন একটি সারফেস ফিনিশ ব্যবহার করা হয়েছে যা কণার সংখ্যা সমান রাখে। মাল্টি-শিফট অপারেশনে, আপনি ২৪/৭ নির্ভরযোগ্যতা আশা করতে পারেন, যেখানে কোনো অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম নেই এবং পুনরাবৃত্ত তাপমাত্রার প্রোফাইল রয়েছে যা গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলো স্পেসিফিকেশনের মধ্যে রাখে।
বাস্তব প্রসেসিংয়ে কেন এটি টিকে থাকে
স্ট্রিপিং পারফরম্যান্স নির্ভর করে ধারাবাহিক তাপ বাজেটের ওপর। সাপোর্ট তাপমাত্রা স্থিতিশীল হলে সলভেন্ট এবং প্লাজমা স্ট্রিপ কেমিস্ট্রিগুলো সমানভাবে কাজ করে, যা অবশিষ্টাংশ এবং পোস্ট-স্ট্রিপ ত্রুটি কমায়।
সফট বেক এবং হার্ড বেকও আরও সুনির্দিষ্ট হয়। এতে লাইন-প্রস্থ নিয়ন্ত্রণ উন্নত হয় এবং রিওয়ার্ক কমে। ফলাফল হিসেবে প্রথমবারের পাসে উচ্চ উৎপাদন, কম বিচ্যুতি এবং কম শক্তি ব্যবহার হয়—দ্রুত র্যাম্প সেটলিং এবং কম ওভারশুটের কারণে।
আপনাকে যা পরিকল্পনা করতে হবে
হিটার বিদ্যমান স্ট্রিপ চেম্বার এবং সাপোর্ট প্ল্যাটেনে বসানো হয়, তবে ইন্টারফেসটি মেকানিক্যাল এবং থার্মাল অ্যাংকর পয়েন্টের সাথে সঠিকভাবে মেলাতে হবে। PID টিউন করার জন্য এবং আপনার রেসিস্ট স্ট্যাকের বিরুদ্ধে প্রোফাইল নিশ্চিত করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান বরাদ্দ করুন।
অপারেটিং লাইফ বায়ুমণ্ডল এবং ডিউটি সাইকেলের ওপর নির্ভর করে। আপনি যদি হাই-পাওয়ার ডিউটি চালান, তাহলে নিয়মিত কোয়ার্টজ ইন্সপেকশন ক্যালেন্ডারে রাখুন যাতে সামঞ্জস্যতা সঠিক থাকে।