ফটোরেসিস্ট সফ্ট বেক ল্যাম্প
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, নরম বেকিং তাপমাত্রার পরিবর্তনগুলো কোনো গুরুতর সমস্যা হিসেবে দেখা দেয় না। এগুলো লাইনের প্রস্থের পরিবর্তন, রেজিস্টে অবস্থিত...
স্পিন কোটার বেক ল্যাম্প
On the lithography floor, a half-degree drift in bake temperature is enough to scrap an entire wafer lot. Soft bake and hard bake aren’t just...
পলিমাইড বেক ইনফ্রারেড ল্যাম্প
লাইন ধরে, ঘড়ি কারো জন্য অপেক্ষা করে না। একটি 300 mm ওয়েফার কোট থেকে সফট বেকের দিকে প্রবাহিত হয়, তারপর এক্সপোজারে প্রবেশ করে, এবং প্রথম কয়েক...