Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong các buồng xử lý wafer của bạn đi!
Đây chính là vấn đề của hầu hết các loại đèn hồng ngoại: chúng tỏa nhiệt ra mọi hướng. Khi bạn muốn làm nóng wafer bán dẫn, bạn muốn năng lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Bạn chắc chắn không muốn nhiệt lượng này lan vào các bộ phận bên trong máy móc, vốn có giá trị rất cao.
Khi thiết bị hoạt động như một “bộ tản nhiệt khổng lồ”, mọi thứ sẽ trở nên rối rắm. Bạn sẽ lãng phí năng lượng, và thân máy cũng sẽ bị giãn nở do tác động của nhiệt. Đó là một vấn đề phiền toái mà bạn chắc chắn không muốn gặp phải.
Cách hoạt động của công nghệ tập trung nhiệt
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách loại bỏ các ống thủy tinh thông thường. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng công nghệ hồng ngoại có khả năng tập trung nhiệt. Hãy tưởng tượng rằng chúng ta đang thêm một tấm phản xạ hoặc lớp phủ đặc biệt ở phía sau đèn.
Thay vì tỏa nhiệt ra 360 độ, nhiệt lượng sẽ được tập trung vào một điểm cụ thể. Như vậy, nhiệt lượng sẽ tập trung vào wafer, trong khi phía sau đèn vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Các bức tường của buồng xử lý cũng sẽ không bị hư hại. Đơn giản vậy thôi.
Bảo vệ nhân viên và thiết bị của bạn
Việc giữ cho thiết bị mát mẻ không chỉ giúp tiết kiệm chi phí điện, mà còn bảo vệ những người làm việc với máy móc. Khi các bức tường bên trong không bị quá nóng, các kỹ thuật viên sẽ không gặp nguy cơ bị bỏng trong quá trình thay thế hoặc bảo trì máy móc. Điều này giúp toàn bộ xưởng sản xuất an toàn hơn.
Tuy nhiên, bạn cần chú ý đến nguồn cung cấp điện. Những thiết bị phát nhiệt mạnh này cần có nguồn điện ổn định. Nếu bạn muốn làm nóng wafer kích thước 300mm một cách nhanh chóng, hãy đảm bảo rằng hệ thống tản nhiệt của bạn có thể đáp ứng được yêu cầu đó. Các bức tường có thể mát mẻ, nhưng wafer thì vẫn bị tác động mạnh bởi nhiệt lượng.
Nhược điểm của phương pháp này
Tuy nhiên, cũng có một nhược điểm: vì nhiệt lượng được tập trung, nên ánh sáng phát ra từ đèn sẽ không còn “mềm mại” như đèn thông thường. Điều này đồng nghĩa với việc việc điều chỉnh nhiệt độ cần được thực hiện một cách chính xác. Nếu wafer lệch đi vài milimét, nhiệt độ trên bề mặt wafer sẽ thay đổi đáng kể.
Bạn đang đánh đổi sự linh hoạt của đèn thông thường lấy độ chính xác cao hơn. Đối với hầu hết mọi người, đó là một sự đánh đổi xứng đáng.