Trong quy trình sản xuất, việc nung phim感光材 là một bước quan trọng cần tuân thủ chặt chẽ các quy định về nhiệt độ. Nếu nhiệt độ thay đổi 10 ms, hoặc khoảng cách giữa bộ gia nhiệt và tấm wafer lệch 1 mm, thì kết quả là hình dạng của tấm wafer sẽ bị biến dạng, xuất hiện các khuyết tật ở mép wafer, hoặc toàn bộ sản phẩm phải bị loại bỏ. Khoảng cách an toàn xung quanh tấm wafer không phải là khu vực thoải mái để hoạt động – đó là ranh giới giúp duy trì chất lượng sản phẩm và tính ổn định của thiết bị.
Chúng tôi xây dựng mô-đun gia nhiệt này sao cho nó được đặt ở khoảng cách an toàn nhất có thể, nhằm ngăn không cho khu vực gia nhiệt tiếp xúc với các bộ phận nhạy cảm và tấm wafer. Đồng thời, mô-đun này vẫn đảm bảo việc truyền nhiệt một cách hiệu quả. Hệ thống này duy trì độ ổn định nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt tấm wafer, giúp việc nung diễn ra một cách chính xác theo quy trình yêu cầu.
Mô-đun này hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100, với mức độ ô nhiễm bằng không. Chúng tôi kiểm tra điều này trực tiếp tại chỗ. Hiệu suất hoạt động của mô-đun này vẫn ổn định sau 5.000 giờ hoạt động, với mức sai lệch nhiệt độ ít hơn 5% – tức là có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố không mong muốn.
Trong quy trình in ảnh, thời gian thực hiện công việc và mức độ lặp lại quy trình rất quan trọng. Với mô-đun này, bạn có thể rút ngắn thời gian nung mà vẫn duy trì được độ chính xác của quy trình. Điều này giúp giảm thiểu số lượng sản phẩm bị lỗi và giảm chi phí sửa chữa.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu nhờ vào khả năng điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác của bộ gia nhiệt – không có hiện tượng vượt quá mức nhiệt độ mong muốn, và không có sự lãng phí năng lượng.
Việc lắp đặt mô-đun này cần chú ý đến khoảng cách an toàn. Cần duy trì khoảng cách ít nhất 10 mm từ mép tấm wafer, tùy thuộc vào kích thước của phòng sạch. Mô-đun này có thể được lắp đặt vào các hệ thống thông thường, nhưng nếu muốn cải tạo hệ thống, có thể cần điều chỉnh lại hệ thống thông gió và các thiết bị liên quan.
Cần lưu ý đến dòng khí trong phòng sạch và áp lực nhiệt lên thùng chứa mô-đun. Hệ thống này có thể chịu được những thay đổi về nhiệt độ xung quanh, nhưng điều kiện đầu vào ổn định sẽ giúp duy trì độ chính xác của quy trình trong thời gian dài.