Litoğrafi işlemlerinde, düşük sıcaklık farklılıkları ciddi bir sorun olarak ortaya çıkmaz. Bunlar, bant genişliğindeki değişiklikler, direnç...

Lito zemin üzerinde, yumuşak fırınlamada yarım derecelik bir sapma “tolerans” olarak kabul edilmez; bu durumda waferyan işe yaramaz hale gelir....