Наблюдайте за тем, как пластина выходит из устройства для промывки. Не допускается наличия следов воды на поверхности пластины. Фотолитографический...

На производственной площадке влага, оставшаяся после очистки, представляет собой серьезную проблему. Она проникает в фотополимер во время процедуры...

На производственной линии процесс нагрева фотополимера требует соблюдения строгих температурных параметров. Даже небольшое отклонение температуры в...

На производственном участке 2-дюймовый сапфировый вафер установлен под литографической системой, ожидая этап Soft Bake. Температура должна составлять...