Proszę zobaczyć, jak płytkę opuszcza stacja płukania. Nie wolno mieć żadnych śladów wody na powierzchni płytki. Fotorezyst nie może tolerować nagłych zmian temperatury. Jeśli suszarka nie może dostarczyć odpowiedniej temperatury, jakość produktu spada – konieczna jest dodatkowa obróbka, co oznacza utratę całej partii produktu.
Co się dzieje technicznie? Stworzyliśmy suszarkę do płytek sensorów MEMS na bazie szybko reagujących elementów grzewczych, dostosowanych do warunków panujących w pomieszczeniach czystych, oraz na bazie kwarcu jako materiału termicznego. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki w granicach ±0,1°C w obszarze aktywnym, co zapewnia precyzyjne realizowanie procedur suszenia.
Tworzenie cząstek jest unikane dzięki szczelnemu układowi konstrukcyjnemu oraz użyciu materiałów o niskiej emisji gazów. Sterownik rejestruje temperaturę z dużą dokładnością, co umożliwia stabilizację procesu i precyzyjne kontrolowanie parametrów. Zużycie energii jest mierzalne, a nie tylko szacowane – mniejsza masa cieplna oraz efektywna izolacja redukują zużycie energii bez pogorszenia stabilności procesu.
Dlaczego to jest ważne w praktyce? W przypadku sensorów MEMS krok suszenia stanowi podstawę dla wszystkich kolejnych etapów litografii i pakowania. Dzięki tej suszarce uzyskujemy czyste produkty – bez żadnych śladów wody czy innych zanieczyszczeń. Ponadto zachowujemy integralność fotorezystu dzięki precisej kontroli temperatury.
Efektem jest mniej konieczności ponownej obróbki produktów, lepsza kontrola wymiarów elementów oraz przewidywalne czasy realizacji procesu. Urządzenie jest przeznaczone do pracy 24/7, więc czas dostępności urządzenia jest wysoki, a nieplanowane awarie są rzadkie. Gdy budżet termiczny jest ograniczony, to urządzenie zapewnia zachowanie norm jakości na każdej partii produktu.
Na co należy zwrócić uwagę podczas planowania? Podczas instalacji konieczne jest dopasowanie portów urządzenia oraz linii dostaw gazu. Podajemy wymiary i specyfikacje, ale nadal trzeba sprawdzić, czy wszystko pasuje do rozwiązania instalacyjnego w Twoim pomieszczeniu.
Suszarka szybko osiąga ustaloną temperaturę, ale komora i elementy nośne wymagają jeszcze krótkiego czasu na docieranie do tej temperatury. Traktujmy to urządzenie jak sprzęt używany w pomieszczeniach czystych – nie dotykajmy nagrzanych powierzchni i przestrzegajmy zasad związanych z ochroną przed zakłóceniami elektrostatycznymi i zanieczyszczeniami.
Zmiana ustawień wymaga krótkiego czasu na dostosowanie. Gdy już to zrobimy, proces staje się powtarzalny i możliwy do kontrolowania.