Lampu pembakaran lembut untuk photoresist
Pada permukaan litografi, perubahan suhu semasa proses pembakaran tidak menyebabkan masalah yang ketara. Perubahan tersebut akan ditunjukkan melalui...
Modul pengeringan bahan photoresist menggunakan sinar inframerah
Pada lantai batu, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pembakaran tidak boleh dianggap sebagai “toleransi” yang boleh diterima. Ia...