Di bilik pengeluaran semikonduktor, proses pemanasan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat wajib. Perubahan suhu sebanyak 0.5°C sahaja pada permukaan wafer sudah cukup untuk mengganggu dimensi penting wafer tersebut dan seterusnya merosakkan kualiti produk yang dihasilkan. Kami telah mencipta lampu khas untuk makmal semikonduktor kami agar dapat memenuhi keperluan ini.
Apa yang benar-benar penting
Yang penting ialah ketepatan penggunaan sinar inframerah. Lampu NIR kami mampu mencipta medan haba yang seragam pada skala sub-milimeter, sehingga memberikan keseragaman pada suhu wafer dalam lingkungan ±0.1°C. Ini bukan sekadar kekuatan haba semata-mata; ia melibatkan kawalan spektrum cahaya dan reka bentuk reflektor yang tepat.
Kelebihannya ialah proses pemanasan yang konsisten dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Dalam praktiknya, ini bermakna aliran fotoresist yang boleh diramalkan, lebar garisan yang stabil, serta suhu yang tetap.
Mengapa ia berkesan di bilik pengeluaran sebenar
Lampu ini boleh digunakan dalam peti haba kelas 1–100. Pengeluaran zarah-zarah debu harus dielakkan sepenuhnya, jadi reka bentuk lampu ini menggunakan penutup kuarsa yang berkualiti tinggi serta komponen yang mengurangkan pelepasan gas, agar jumlah zarah debu tetap rendah.
Ketahanan lampu diukur berdasarkan masa operasi. Lampu ini boleh beroperasi selama 5,000 jam atau lebih dengan penurunan prestasi kurang dari 5%. Dengan cara ini, anda tidak perlu risau tentang kerosakan lampu, sebaliknya hanya perlu fokus pada kestabilan proses pengeluaran. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana lampu NIR memanaskan wafer secara langsung, bukan dinding peti haba.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Pemasangan lampu ini agak mudah, tetapi faktor penyambungan termal sangat penting. Lampu ini perlu disambungkan dengan betul ke sistem haba peti haba tersebut, agar tidak ada titik panas yang terbentuk.
Anda perlu menunggu sedikit masa untuk lampu mencapai suhu yang diinginkan; pastikan anda merancang proses pemanasan dalam tempoh 30 saat. Walaupun lampu ini sesuai untuk kebanyakan jenis peti haba, pemasangan pada peti haba lama mungkin memerlukan perubahan kecil pada antaramuka kawalan. Kami menyediakan spesifikasi antaramuka terlebih dahulu, supaya tiada masalah yang timbul.