על גבי הרצפה הליתוגרפית, שינויים קלים בטמפרטורת החימום אינם גורמים לכשלים בולטים. הם באים לידי ביטוי בשינויים ברוחב הקווים, בנוזלים שנשארים בחומר...

על הקרקעית האבן, סטייה של חצי מעלה בתהליך האפייה אינה נחשבת ל”טולרנס”. זו סיבה לזריקת הוואפר לפח. ייבוש הפוטורזיסט תלוי בשליטה בטמפרטורה; המודול של...

בקומת הליתוגרפיה, כשל בחימום התמיכה בזמן הסרת הפוטורזיסט עוצר את הקו מיד. וופרים מתחילים להצטבר עם שאריות, הפחתות בזבל עולות, ומתכנן הייצור מוצא עצמו...