בחדרי הייצור, הלחות שנשארת לאחר הניקוי אינה רק מטרד – היא חודרת לתוך הפוטורזיסט במהלך תהליך האפייה, משנה את הממדים החשובים של הוופר, וגורמת לירידה באיכות המוצר. מנורת הסרת הלחות פותרת בעיה זו על ידי הסרת הלחות מהפני השטח לפני שהתהליך הליתוגרפי נפגע.
מה חשוב באמת? יצרנו את המנורה על בסיס גופי פלורין בגלי אור קצרים, הממוקמים במעטפת קוורץ. היתרון של גישה זו הוא חימום מהיר של הפני השטח, עם מסה תרמית מינימלית. כך ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, עם תגובה של פחות משנייה, ועם אחידות ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C. פרופיל הקרן מותאם לקוטר הוופר ולמהירות הסריקה, כך שהטמפרטורה נשארת תחת שליטה, והכימיה של הפוטורזיסט נשארת שלמה. המנורה תואמת את סטנדרטים של חדרי ניקיון מסוג Class 1–100: חומרים שעומדים בסטנדרטים אלו, מעטפת אטומה, ואין יצירת חלקיקים במהלך הפעולה הרציפה.
למה זה מתאים לתהליך הייצור? הוופרים עוברים תהליך של רחצה וייבוש, ומיד לאחר מכן הם עוברים לתהליך הציפוי. אם לא מסירים את הלחות מיד, המים שנשארים מדללים את הפוטורזיסט, מה שגורם לבעיות באיכות המוצר לאחר החשיפה והאפייה. המנורה מסירה את הלחות מבלי לחמם את הוופר, כך שהטמפרטורה נשארת כפי שרצינו. התוצאה היא תהליך אפייה עקבי, ואיכות המוצר נשארת בתוך הסטנדרטים הרצויים.
האמינות של המנורה תלויה בזמן הפעולה הרציף שלה – המנורות האלו פועלות 24/7 ללא הפסקות, והסטייה בפרמטרים נשארת תחת 5% לאחר 5,000 שעות של פעולה.
הפרטים הפרקטיים המנורה יכולה להתחבר למערכות הקיימות, עם אינטרפייסים מכניים וחשמליים סטנדרטיים. אך יש צורך בדיוק גבוה בהתאמת המנורה למערכת. יש לוודא שמרכז הקרן נמצא במיקום הנכון, ושהסינכרון בין המנורה לבין מערכת הציפוי תקין. יש צורך בזמן קצר להגיע ליציבות תרמית בתחילת היום, ויש לבצע כיול של עוצמת הקרן באופן קבוע. בחדרים עם לחות גבוהה, יש צורך במערכת לסילוק הלחות, כדי שלא תיווצר שוב לחות לאחר הטיפול.