נורת אוורור למעבדת חצאי מוליכים

במפעלי ייצור שבבים, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו אופציונלי – זו דרישה הכרחית. שינוי של רק 0.5°C בטמפרטורה ברחבי הוויפר עלול לגרום לשינויים בממדים...